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對于半導體測量而言，雖然在批量生產、實驗室、晶圓等環節都需要用到，相關環節也比較復雜，但是電性能測試則是基本的環節。任何半導體器件或模組，在研發、設計及生產過程中，都免不了這一環節。
在電性能測試環節，目前先進的測試方案就是源測量單元(SMU)。SMU是一種精密電源儀器，具備電壓輸出和測量以及電流輸出和測量功能。這種對電壓和電流的控制使您可以靈活地通過歐姆定律計算電阻和功率?？赏瑫r控制與量測高精度電壓、電流，專為消費性電子產品、IC設計與驗證、生醫、學術研究等實驗室提供電性能測試。
目前，市場上能夠提供源測量單元(SMU)廠商也不少，相關產品也有很多。然而，并不是測試儀器越昂貴，測試準確性就越高。想要真正意義上掌握源測量單元(SMU)，必須首先清楚誤差產生的原因，以及減小誤差的有效途徑。
半導體測量的專業領域包括：
通過使用偏振光進行橢圓光度測定來完成薄膜分析。
獨特且易于操作的藍光，紫外光單模半導體激光器用于靈活實現微光刻處理。
利用遠紅外半導體激光快速調制掃描分子吸收頻譜可以遠程測量密閉環境下的氧氣，氫氣等氣體。
通過分析高亮度二極管激光光束散射光，可探測粒子。
利用單模半導體激光可利用干涉原理對晶圓步進器中掩模提供較高精度校準。
利用高度相干的連續波紫外半導體激光器檢測昂貴的光刻光學器件。
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關鍵詞：關節臂測量儀,半導體測量,GOM三維掃描儀
