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半導體測量
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蔡司 EVO掃描電子顯微鏡

蔡司 EVO掃描電子顯微鏡

  • 所屬分類:掃描電子顯微鏡
  • 瀏覽次數:
  • 發布日期:2020-11-23 18:06:11
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

蔡司 EVO 系列

模塊化的 SEM 平臺適用于直觀操作、例行檢測和研究應用

EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界面體驗結合在一起, 半導體測量,同時能夠吸引經驗豐富的用戶以及新用戶。無論是在生命科學, 材料科學, 或例行的工業質量保證和失效分析領域,憑借廣泛的可選配置, EVO 都可以根據您的要求量身定制。

1.顯微鏡中心或工業質量保證實驗室的多功能解決方案

2.不同的真空室大小和可滿足所有應用要求的載物臺選項-甚至是大型工業零部件樣品

3.使用LaB6燈絲,能夠得到優異的圖像質量

4.對不導電和無導電涂層的樣品的成像和分析性能出色

5.可以配置多種分析探測器用于滿足各種顯微分析應用的需求

優勢

掃描電子顯微鏡

便捷的可用性

SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進行交互式工作流程控制。它簡單易學, 大大減少了培訓所付出的努力和成本,甚至新用戶在幾分鐘內也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持需要自動化工作流程以執行可重復檢查任務的工業操作員。

掃描電子顯微鏡

 優異的圖像質量

EVO 擅長于對未經處理和沒有導電涂層的樣品獲取高質量的數據。EVO 還允許樣品保留其原始狀態, 維持含水和重污染樣品的數據質量。此外當成像和微量分析面臨挑戰時,選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。

掃描電子顯微鏡

EVO 能夠與其它設備相關聯

EVO可以作為半自動、多模式工作流程的一部分,通過重新定位感興趣區域,并以多種方式收集數據,形成信息的完整性。將光學和電子顯微鏡圖像合并起來進行材料表征或零件檢驗,或者將 EVO 與蔡司光學顯微鏡相關聯,進行關聯顆粒度分析。

適合更多用戶操作

對于經驗豐富的以及新手用戶操作都很方便

在實際的實驗室環境中,SEM 的操作通常是顯微鏡專家的專屬領域。但是對于非專家級用戶來說,操作SEM就變得具有挑戰,比如學生、受訓者或質量工程師,他們往往也需要從 SEM獲取數據。 EVO 則同時考慮了這兩類用戶的需求,用戶界面選項既能滿足有經驗的顯微鏡專家也能滿足非專業用戶的操作需要。

專家用戶

優選用戶界面: SmartSEM

專家用戶可以獲取以及設定成像參數和分析功能。

掃描電子顯微鏡

 新手用戶

優選用戶界面: SmartSEM Touch

新手用戶可以使用預定義的工作流程和常用的一些參數-非常適合初學者。

掃描電子顯微鏡

智能導航與成像

大大提高樣品的測試效率,以及更多的數據產出

掃描電子顯微鏡

蔡司導航相機

相機可以安裝在倉室前方, 以監測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機);或安裝在真空室倉門上方 (導航相機), 利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設置從光學顯微鏡圖像中識別出的預定義位置, 并在整個樣品測試過程中輕松導航。

掃描電子顯微鏡

自動化智能成像

EVO實現了對樣品批量自動、無人值守的圖像采集。蔡司自動化智能成像非常適合例行檢測。它使用戶能夠自定義邊界區域,自動生成所需的視圖或放大倍數確定的感興趣區域,并開始自動獲取圖像。自動化智能成像將大大提高樣品的測試效率,以及更多的數據產出。

將您的研究提升一個層次

使用六硼化鑭電子發射器能夠獲得更好的圖像

六硼化鑭陰極相較于傳統的鎢發夾燈絲所發射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質量。這種優勢體現在以下兩個方面:

在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下, 有更多探針電流可供使用, 從而使圖像導航和優化更容易

在相等的探針電流 (信噪比) 下, 光斑直徑要小得多, 從而提高了圖像分辨率

掃描電子顯微鏡

低加速電壓下高放大倍率的催化劑粒子 (左: 使用鎢燈絲, 右: 使用LaB6燈絲)

當在具有挑戰性的成像條件下, 使用LaB6燈絲的用戶將有高達10倍的光束亮度, 從而提高了圖像分辨率和對比度。

低加速電壓下高放大倍率的催化劑粒子 (左: 使用鎢燈絲, 右: 使用LaB6燈絲)

當在具有挑戰性的成像條件下, 使用LaB6燈絲的用戶將有高達10倍的光束亮度, 從而提高了圖像分辨率和對比度。

EVO 能夠與其它設備相關聯

工作流程自動化和關聯顯微鏡的好處

掃描電子顯微鏡

由于蔡司是各種類型顯微鏡和計量系統的優良供應商, 所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結合,使其功能能夠發揮得更好。

通過使用Shuttle & Find(蔡司關聯顯微鏡的軟硬件部分),您可以在(數碼)光學顯微鏡和 EVO 之間建立一個高效的多模式聯用的工作流程。將光學顯微鏡獨特的光學對比方法與同樣獨特的掃描電鏡成像和分析方法相結合, 獲得互補的數據, 從而更清楚地去了解樣品的材料、質量或失效機理。

蔡司 SmartEDX

用于常規SEM顯微分析應用的一體化EDS解決方案

如果單采用SEM成像技術無法全面了解部件或樣品,研究人員就會借助能譜儀(EDS)來采集元素化學成份的空間分布信息。

掃描電子顯微鏡

1.針對常規顯微分析應用進行了優化

 SEM和EDS的搭配使用必須經過謹慎細致的考量。EVO上的SmartEDX非常適用于常規顯微分析應用,尤其對于數據重復性要求高的客戶而言更是理想的選擇。它在129 eV能量分辨率和1-5 nA探頭電流(典型的EVO工作條件)下具有很高的通量。得益于氮化硅窗口的優異透過率, SmartEDX更適合于探測到來自輕元素的低能X射線。

掃描電子顯微鏡

2.工作流程引導的圖形用戶界面

 SmartEDX旨在提高多用戶環境中的易用性和工作流程重復性。與其他蔡司工作流程引導的軟件解決方案(如:SmartSEM Touch,ZEN core或EVO 的Shuttle&Find)一樣,SmartEDX軟件易于學習,使用直觀,并有助于確保在SEM上執行分析任務的重復性,尤其是在多個操作者使用該系統的環境中。

掃描電子顯微鏡

3.全方位的蔡司服務和系統支持

SmartEDX由蔡司提供全方位支持,因此該EDS解決方案非常適合那些希望精簡分析設備供應商數量的客戶。所有安裝、預防性維護、保修、診斷和維修、備件物流以及整個系統服務合同中的內容均由蔡司全面負責,為您的SEM分析解決方案提供一站式的的支持。

EVO 系列

真空室尺寸選擇



蔡司EVO 10

蔡司EVO 15

蔡司EVO 25


 

選擇 EVO 10(可選配BSDEDS)是您想以一個非常實惠的價格購買掃描電子顯微鏡的切入點。即使這個EVO真空室很小,它也不同于臺式電鏡。您現在在 EVO 的投資保證了您已經為將來需要更多空間和端口的應用做好了準備。

 

EVO 15 充分展示了 EVO 家族的靈活性概念, 并擅長于分析應用。選擇 EVO 15 更大的真空室, 并增加對不導電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式, 你將有一個多功能多用途的顯微鏡設備或者工業質量保證實驗室的解決方案。

EVO25 是工業的主力解決方案, 它有足夠的空間以容納甚至更大的部件和組件??蛇x的 80 mm Z 軸行程載物臺可進一步擴展 EVO 25的功能, 它可以處理重量高達2公斤的樣品甚至傾斜。此外, 大的真空室將能夠容納多個分析檢測器以滿足苛刻的微量分析應用需求。

MAX樣品高度

100 mm

145 mm

210 mm

MAX樣品直徑

230 mm

250 mm

300 mm

電動載物臺行程XYZ

 

80 x 100 x 35 mm

 

125 x 125 x 50 mm

130 x 130 x 50 (80) mm

高真空模式 (HV) 
導電樣品質量的成像與分析

可變壓力模式 (VP) 

不導電且不噴涂導電層樣品的高質量成像和分析

擴展壓力模式 (EP) 
含水或被污染的樣品在其自然狀態下成像


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